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- XM 超精密线性电机平移台
XM 超精密线性电机平移台可提供持续、可靠的动力性能，运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。 性能超高，最小增量运动为 1 nm 非接触直接驱动系统，精度超高、动态性能优异且操作可靠 亚纳米级高精度玻璃标度编码器，重复精度为 80 nm 超大型无铁心高效率线性电机可最大限度地减少发热 静音抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动
- 型号：
- 更新日期：2024-08-29
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- MLT 薄型铝制直线电机平台
MLT 薄型铝制直线电机平台紧凑、薄型、高精度线性位移台将 XM 系列的超精密性能与VP 线性位移台系列的紧凑性相结合。 这些位移台集合了适用于各种工业应用的MKS精密位移台的最新创新设计和专业知识，同时包含了与 MKS 运动控制器一起使用所需的基本设置。 MLT 位移台非常适合半导体、工业及科研中的典型扫描或点对点应用，用于计量、传感器测试和校准、对准和拾放组装。
- 型号：
- 更新日期：2024-08-29
